全波长激光束定位模块

在激光或者光学组件等微加工设备、研究设备及医疗设备中需要精确的校准激光束\。在有的应用中,入射光的位置需要精确定位;例如在生物领域,需要激光束照到指定的细胞位置,然后进行激发。


一般的位置传感器是光电二极管等半导体传感器,有波长范围及功率范围限制。greenTeg的热电堆传感器可以检测DUV-MIR之间的波长范围,这样可以确保可以应用于不同的激光系统。


 greenTeg的定位模块包含4个热电堆检测单元,第一个原型机可以检测到10µm。